GAS SUPPLY SYSTEM, 무선전력전송HOME  R&D 분야 > 기술개발 실적 GAS SUPPLY SYSTEM, 무선전력전송

GAS SUPPLY SYSTEM 개발

반도체 및 디스플레이 제품을 생산하기 위해 필요한 여러가지 공정용 가스를 제어하기 위해 필요한 제품

GAS SUPPLY SYSTEM 개발

  • 안전성, 방폭성, 정확성에 초점을 맞추어 개발된 제품
  • TOXIC GAS 공급 및 안전을 사전에 예방하기 위해 COMPLETE INTEROCK SYSTEM 채용
  • PLC CONTOLLER 는 TOUCH SCREEN PANEL 을 적용하여 GAS CABINET의 상태 확인 가능
  • GAS 누출 또는 비상시 AUTO SHUT OUT OFF 되어 GAS 긴급차단으로 안전 확보
  • 모든 현황을 GMS(GAS MONITORING SYSTEM)에 의하여 중앙통제센터, 사무실 등에서
    GAS 공급 및 진행상태를 한눈에 파악 가능


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